超精密加工與加工機床，刀具，加（jiā）工工藝，甚至加工環境都有密不可分（fèn）的關係（xì）。

首先精密（mì）加工機床必須有以下（xià）幾個特點（diǎn）：

1、  高精（jīng）度，包括機床的主軸回轉精度、導軌運動精度、分度精度等（děng）都不能低於零件的加工精度要求。

2、  高（gāo）剛性及穩定性。高剛性過程中機床剛性需要（yào）保持良好，還需呀同時考慮工件、刀具、機床（chuáng）、夾具所組成的工藝係統剛度，避免超精密加工（gōng）過程中產生振動或者變形。高穩定性指機床能夠在規定（dìng）的環境下保持良好的精度（dù）、抗幹擾、抗振、熱穩（wěn）定性等。

3、  高（gāo）自動化。保證加工精度的同時實現自動（dòng）化是超精密機床的必要（yào）條件，現代超精密加工機床多配有（yǒu）精密控製係統實現自（zì）動控製工件及主軸的（de）運動軌跡，有效避免人為因素產生的誤差，提高加工質量。